دستگاه لایه نشانی اسپاترینگ رومیزی تک کاتده مدل dst1-l

DST1-L

دستگاه لایه نشانی اسپاترینگ رومیزی تک کاتده مدل DST1-L دستگاه DST1-L، یک سیستم لایه نشانی تحت خلاء به روش اسپاترینگ (لایه نشانی کند و پاش) با محفظه شیشه ای و پمپ توربومولکولار می باشد. این دستگاه مجهز به یک کاتد مگنترون بوده و با قابلیت نصب منابع تغذیه RF و DC، قادر به لایه نشانی گروه وسیعی از مواد شامل فلزات (اکسیدی و غیر اکسیدی)، نیمه هادی ها و سرامیک ها می باشد. مدل DST1-L مجهز به یک کاتد مگنترون آبگرد چهار اینچی و محفظه خلاء بزرگ بوده و مناسب برای لایه نشانی نمونه های بزرگ تا قطر 15 سانتی متر و یا چند نمونه کوچک به صورت همزمان می باشد. زمان فرایند لایه نشانی در این دستگاه با توجه به آبگرد بودن کاتد، نامحدود بوده و امکان لایه نشانی لایه های ضخیم بر روی نمونه های بزرگ را فراهم می آورد. DST1-L مجهز به یک منبع تغذیه RF با توان 300 و یا 600 وات به همراه مچینگ باکس و یک منبع تغذیه DC با توان 800 وات بوده و مناسب برای کاربردهای لایه نازک، میکرو الکترونیک، نانو الکترونیک و میکروسکوپ الکترونی در مراکز تحقیقاتی و پژوهشی می باشد. مشخصات دستگاه مجهز به پمپ توربو مولکولار خلاء بالا (آلماني) و پمپ پشتیبان دیافراگمی (آلمانی) فشار سنج فول رنج (آلمانی) ضخامت سنج کريستال کوارتز با دقت اندازه گيري يک نانومتر شامل اسيلاتور و نگهدارنده کريستال با قابليت اندازه گيري ضخامت در حين لايه نشاني صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات نرم افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی از طریق شبکه کنترل نرخ لایه نشانی با دقت یک نانومتر با استفاده از ضخامت سنج کریستالی نگهدارانده زیر لایه با قابلیت چرخش مجهز به شاتر الکترونیکی یک سال گارانتی کامل صفحه نمایش رنگی دستگاه مجهز به یک مانیتور لمسی 7 اینچی تمام رنگی می باشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می شود. با توجه به کاربری ساده این نرم افزار، کاربر می تواند اطالاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و ...) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید. همچنین دستگاه توانایی ثبت اطلاعات مربوط به 300 لایه نشانی آخر را دارا می باشد. کاربر می تواند از طریق این صفحه نمایش، فرایند لایه نشانی را بر اساس ضخامت یا زمان تنظیم کرده و پس از رسیدن به زمان یا ضخامت مورد نظر عملیات لایه نشانی به صورت خودکار متوقف می شود. محفظه خلاء شیشه ای عاری از هر گونه آلودگی محفظه خلاء دستگاه شامل یک مخزن استوانه اي از جنس پيرکس به قطر mm 300 و ارتفاع mm 250همراه با اورينگهاي ال شکل می باشد. دستگاه مجهز به پمپ توربومولکولار خلاء بالا می باشد که توسط یک پمپ دیافراگمی پشتیبانی می شود و در نتیجه هیچ گونه آلودگی ناشی از روغن (که از ویژگی های پمپ های دیفیوژنی است) وارد محفظه خلاء نمی شود و لایه نشانی در یک محیط بسیار تمیز انجام می شود. سایر ویژگی های دستگاه DST1 خلاء نهايي 2 × 10-6 torr کنترل نرخ لايه نشاني به منظور رسيدن به ساختار دانه ظريف تر کنترل خودکار توان لايه نشاني به صورت مستقل از فشار یک عدد MFC به منظور کنترل دقیق فشار داخل محفظه قابلیت رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه نشانی انتقال منحني ها و داده هاي فرآيند لايه نشاني بوسيله ي USB به کامپيوتر برق ورودي: 220V- 50HZ- 16A وزن : 60 کیلوگرم تجهیزات اضافه و لوازم جانبی ولتاژ بایاس، هیتر تحت خلاء، شیشه یدک، کریستال کوارتز و تارگت های اسپاترینگ.